MS-6BC型精密双面抛光机的研制

• 作者: 叶怀储 张璟 李伟 胡刚翔 马树林
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 双面抛光 光电子材料 超光滑表面
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 数字技术与机械加工工艺装备
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: TQ171.6
• 字数: 2925字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2008.02.012

摘要

光电子信息产业的快速发展,要求蓝宝石、单晶硅等材料高效率、超光滑表面加工,精密双面抛光加工是得到这些材料超光滑表面的主要加工方法之一.本文介绍了新研制的MS-6BC型精密双面抛光机,介绍了其结构及其特点,并论述了双面抛光加工的主要工艺因素和过程.最后通过试验验证了MS-6BC型精密双面抛光机具有加工精度高,控制性能好的特点,适用于蓝宝石、单晶硅等人工晶片的超精密加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟		57	397	11.0	17.0
2	马树林		3	21	3.0	3.0
3	张璟		1	5	1.0	1.0
4	胡刚翔		1	5	1.0	1.0
5	叶怀储		1	5	1.0	1.0