力平衡MEMS加速度计的系统级建模与仿真

• 作者: 刘晓为 张宇峰 陈伟平
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 力平衡加速度计 系统级模型 数学模型
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 917-922
• 页数: 6页
• 分类号: TN402
• 字数: 293字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.05.022

摘要

利用两种不同方法完成力平衡加速度计的系统级仿真.系统级模型参数在已完成的硅基力平衡MEMS加速度计结构上提取,数学模犁和仿真分别采用VHDL-AMS和SIMULINK TM来实现.对仿真结果进行比较,两者之间有细微的差别.利用VHDL-AMS进行仿真更灵活、准确,模型可重复再用,但是过程中要消耗更多时间.而使用SIMULINK可以方便、快捷地建立模型.