硅纳米梁振动基波频率的半连续体模型

• 作者: 于虹 陆清茹 鲍芳 黄庆安
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: NEMS 硅纳米梁 半连续体 频率
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 469-472
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2494字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.026

摘要

基于Sun-Zhang提出的应变能量计算模型,根据动势能转换与守恒原理,提出了用于分析硅纳米梁基波频率的半连续体模型.与传统的连续体模型相比,该方法考虑了厚度方向进入纳米尺度所带来的物理特性的离散化现象.本文对理论推得的基频模型进行了验证,在极小尺寸时,使用分子动力学软件Material StudioTM验证,在较大尺寸时,用连续介质模型验证,从验证结果可以看出,在这两种尺寸下,各自都很吻合,说明该模型可以适用于从纳米尺寸到宏观尺寸的所有尺度范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄庆安	东南大学MEMS重点实验室	35	415	12.0	19.0
2	于虹	东南大学MEMS重点实验室	7	14	3.0	3.0
3	陆清茹	东南大学MEMS重点实验室	18	15	3.0	3.0
4	鲍芳	东南大学MEMS重点实验室	1	4	1.0	1.0