有机薄膜器件的镀膜自动控制系统设计

• 作者: 吴开红 唐超 夏斯杰 徐慧
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 用于有机薄膜器件的真空镀膜自动控制系统 单片机 固体继电器 电磁阀
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 控制技术
• 页码范围: 1619-1621,1634
• 页数: 4页
• 分类号: TP27
• 语种: 中文

摘要

设计了用于有机薄膜器件的镀膜自动控制系统;整个自动控制系统以单片机为核心,可分为3个功能模块:人机交互、强弱电转换,样品处理.人机交互由单片机来实现;强弱电转换由固体继电器来完成;样品处理包括镀膜速率自动控制和样品保护两个部分.控制系统体现了弱电控制强电的设计思路,系统采用了单片机、继电器、电磁阀和可调变阻器等器件以及程控可调电阻电路.所设计的控制系统能克服目前有机薄膜器件镀膜系统的一些弊端,实现镀膜和镀膜速率的自动控制,并且能够避免有机半导体材料在真空腔内的相互污染.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐超	南京邮电大学信息材料与纳米技术研究院	17	65	3.0	7.0
2	徐慧	南京邮电大学光电工程学院	10	42	3.0	6.0
3	吴开红	南京邮电大学自动化学院	2	5	2.0	2.0
4	夏斯杰	南京邮电大学自动化学院	2	5	2.0	2.0