金属诱导多晶硅电极用于液晶显示透反功能的设计

• 作者: 吴春亚 孟志国 李阳 熊绍珍
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: LCD 多晶硅薄膜电极 光谱校正
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1172-1176
• 页数: 5页
• 分类号: TN321+.93
• 字数: 4393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.06.029

摘要

溶液法金属诱导晶化(S-MIC)的p型掺杂多晶硅薄膜,具有较好的电学特性和近似半透半反的光学特性,可作为透、反两用功能液晶显示器件(LCD)的像素电极材料.但MIC多晶硅薄膜的透射与反射在红.绿和蓝三色区存在着一定的差异,势必导致合成白光的"畸变".为此,作者在MIC(大晶畴)多晶硅材料制成的电极上,在制备并光刻TFT源、漏电极铝金属引线的同时,光刻出不同面积的铝反射片来平衡和补偿经过MIC多晶硅薄膜透过与反射的红、绿、蓝三基色光,有效地进行红、绿、蓝三基色出光光谱的校正.校正结果表明在可见光范围内,其红光、绿光和蓝光处的透射率和反射率基本符合白光平衡的要求;由此形成了具有透、反两用功能的LCD多晶硅像素电极技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊绍珍	南开大学光电子研究所天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室	63	380	12.0	18.0
2	吴春亚	南开大学光电子研究所天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室	26	305	9.0	17.0
3	孟志国	南开大学光电子研究所天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室	26	145	6.0	11.0
4	李阳	南开大学光电子研究所天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室	12	129	5.0	11.0