水平轴硅微机械陀螺仪机电接口模型的电容分析

• 作者: 叶甫 王寿荣 程龙
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 硅微机械陀螺仪 机电接口模型 杂散电容 仿真
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 480-482
• 页数: 3页
• 分类号: V241.554
• 字数: 1979字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.029

摘要

以水平轴硅微机械陀螺仪结构为对象,建立了陀螺仪机电接口的理论模型,分析了模型中杂散电容对输出信号的影响,并用电路分析软件对模型进行仿真.结果表明,陀螺仪活动结构与衬底、引线问的电容对输出信号的影响很大,最后提出了减小杂散电容,提高信噪比的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王寿荣	东南大学仪器科学与工程学院	94	1158	19.0	28.0
2	叶甫	东南大学仪器科学与工程学院	2	31	1.0	2.0
3	程龙	东南大学仪器科学与工程学院	15	133	6.0	11.0