扫描探针显微镜的隔振技术研究

• 作者: 傅惠南 巫立东 邱熹程
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: SPM 被动隔振 磁阻尼 主动隔振
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 30-32,52
• 页数: 4页
• 分类号: TH742
• 字数: 2429字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2008.09.012

摘要

扫描探针显微镜(SPM)等超精密加工与检测仪器容易受到外界环境微小振动等干扰,致使仪器在通常条件下无法达到要求的指标.为此,结合主动隔振和被动隔振振技术研究对外界微小振动扰动有效隔离方法.以本原纳米仪器有限公司制作的CSPM4000扫描探针显微镜作为实验对象进行试验,探讨利用主动隔振系统来降低超精密仪器对于外部试验环境的苛刻要求,进而改善超精密仪器的试验性能.实验结果显示隔振试验装置具有较好的隔振效果.可满足使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅惠南		51	129	6.0	7.0
2	邱熹程		3	4	1.0	1.0
3	巫立东		1	1	1.0	1.0