三层多级弯曲磁微执行器设计与研究

• 作者: 张大兴 梁丽萍 贾建援 郭永献
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: MEMS 多级弯曲磁微执行器 吸合
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 412-415
• 页数: 4页
• 分类号: O482.5|O441.3
• 字数: 2316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.011

摘要

吸合效应是许多微执行器都存在固有的不稳定性,基于RF MEMS(射频微机电系统)电容式开关改进(或消除)不稳定性的方法以及多层悬臂梁概念,设计了一种三层多级弯曲磁微执行器,分别用磁动势控制模型和磁通控制模型对其吸合现象进行了研究.仿真结果表明:磁动势控制模型中,当所串联的中磁极厚度h1=0时,漏磁阻对临界吸合角度θPI无影响,θPI为系统最大旋转角度θmax的44%,θPI随h1增大而增大,随漏磁阻减小而减小,并且θPI/θmax存在极限值约为0.724磁通控制模型中无论是否考虑漏磁阻,h1大小对临界吸合角度无影响,θPI/θmax≈0.723.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	张大兴	西安电子科技大学机电工程学院	29	89	5.0	6.0
3	郭永献	西安电子科技大学机电工程学院	14	67	5.0	6.0
4	梁丽萍		3	13	2.0	3.0