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三层多级弯曲磁微执行器设计与研究
三层多级弯曲磁微执行器设计与研究
作者:
张大兴
梁丽萍
贾建援
郭永献
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
MEMS
多级弯曲磁微执行器
吸合
摘要:
吸合效应是许多微执行器都存在固有的不稳定性,基于RF MEMS(射频微机电系统)电容式开关改进(或消除)不稳定性的方法以及多层悬臂梁概念,设计了一种三层多级弯曲磁微执行器,分别用磁动势控制模型和磁通控制模型对其吸合现象进行了研究.仿真结果表明:磁动势控制模型中,当所串联的中磁极厚度h1=0时,漏磁阻对临界吸合角度θPI无影响,θPI为系统最大旋转角度θmax的44%,θPI随h1增大而增大,随漏磁阻减小而减小,并且θPI/θmax存在极限值约为0.724磁通控制模型中无论是否考虑漏磁阻,h1大小对临界吸合角度无影响,θPI/θmax≈0.723.
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文献信息
篇名
三层多级弯曲磁微执行器设计与研究
来源期刊
传感技术学报
学科
物理学
关键词
MEMS
多级弯曲磁微执行器
吸合
年,卷(期)
2008,(3)
所属期刊栏目
MEMS专集
研究方向
页码范围
412-415
页数
4页
分类号
O482.5|O441.3
字数
2316字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.011
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
贾建援
西安电子科技大学机电工程学院
174
1783
17.0
35.0
2
张大兴
西安电子科技大学机电工程学院
29
89
5.0
6.0
3
郭永献
西安电子科技大学机电工程学院
14
67
5.0
6.0
4
梁丽萍
3
13
2.0
3.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
引文网络
二级参考文献
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共引文献
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参考文献
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节点文献
引证文献
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引证文献(1)
二级引证文献(1)
2014(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
MEMS
多级弯曲磁微执行器
吸合
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
主办单位:
东南大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
开本:
大16开
出版地:
南京市四牌楼2号东南大学
邮发代号:
创刊时间:
1988
语种:
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
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