低驱动电压k波段电容耦合式RF MEMS开关的设计

• 作者: 刘佳 李仁锋 白竹川 高杨
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 射频开关 低驱动电压 仿真
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 75-77,81
• 页数: 4页
• 分类号: TM564
• 字数: 2094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.09.024

摘要

设计了一种低驱动电压的电容耦合式射频微机械(RF MEMS)开关.RF MEMS开关采用共面波导传输线,双电极驱动,悬空金属膜采用弹性折叠梁支撑.使用MEMS CAD软件CoventorWare、微波CAD软件HFSS,分别仿真了开关的力学性能和电磁性能,仿真结果表明:开关的驱动电压为2.5V,满足低驱动电压的设计目标;开关开态的插入损耗约为0.23 dB@20 GHz,关态的隔离度约为18.1 dB@20 GHz.最后给出了这种RF MEMS开关的微制造工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	刘佳	西南科技大学信息工程学院	11	10	2.0	3.0
4	李仁锋	中国工程物理研究院电子工程研究所	9	41	4.0	6.0
5	白竹川	西南科技大学信息工程学院	10	95	7.0	9.0