压阻式微加速度计灵敏度的温度特性研究

• 作者: 张文栋 毛海央 王楷群
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 相对误差 温度偏差 迁移率 灵敏度 压阻式微加速度计
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1536-1540
• 页数: 5页
• 分类号: TN302
• 字数: 2316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.09.014

摘要

以压阻式微加速度计为研究对象,定量研究了环境温度对其灵敏度的影响.理论研究结果表明,压阻式微加速度计灵敏度的相对误差随着温度偏差绝对值的增大而增大;其中灵敏度误差在温度偏差为+20℃时达到-4.943%,在温度偏差为-20℃时达到4.982%.设计了压阻式微加速度计压敏电阻的温度特性测试系统,测试结果表明,在温度偏差为+20℃时,灵敏度误差为-4.303%,温度偏差为-20℃时,实验值为4.251%.理论计算值与实验测试值相吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	王楷群	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	7	1.0	1.0
3	毛海央	北大学微电子研究所	1	7	1.0	1.0