喷雾清洗中微颗粒受到流体作用力的研究

• 作者: 孙震海 韩瑞津
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 液滴撞击 颗粒去除 拽力 升力 可湿性
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1081-1087
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 541字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.06.013

摘要

对喷雾清洗过程中微颗粒所受到的流体力进行了研究.由于液滴撞击在平面上产生的不稳定流, 无法用现有的层流作用力公式来预测颗粒所受到的作用力,本文采用了计算流体力学模拟的方法对流场分布进行了模拟,并且汁算颗粒上相应受到的作用力.通过计算结果,讨论了影响颗粒清除效果的关键因素.研究表明,在微米尺度内,平面的可湿性质对液滴展开的初始阶段流场分布有显著影响,从而也大大影响了平面上颗粒所受到的作用力.此外,撞击在下燥表面时,颗粒受到的拖拽力会比撞击到湿表面上时大三个数量级以上.而在湿表面上时,提高撞击速度会比增大液滴大小来得更有效,主导颗粒去除的力为拖拽力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙震海	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	2	6	2.0	2.0
10	韩瑞津		2	5	2.0	2.0