基片表面力负载对SAW谐振器的特性影响研究

• 作者: 孙雪梅 文玉梅 李平 郑敏 陈雨
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: SAW谐振器 表面力负载 谐振频率 机械损耗
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 753-756
• 页数: 4页
• 分类号: TF212.1
• 字数: 3252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.05.010

摘要

分析了SAW谐振器表面力负载对谐振器谐振频率和机械损耗产生的影响.进行了两种表面力加载方式的实验研究,对比实验结果表明:基片底面固定时,表面力负载对SAW谐振器谐振频率的影响主要与负载在基片表面产生的应力大小有关,而谐振器的机械损耗主要与力在基片表面的分布有关.实验结果为SAW力传感器的结构设计提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	文玉梅	重庆大学光电工程学院教育部光电技术及系统重点实验室	147	1964	25.0	34.0
2	李平	重庆大学光电工程学院教育部光电技术及系统重点实验室	155	1865	23.0	33.0
3	郑敏	重庆大学光电工程学院教育部光电技术及系统重点实验室	19	297	10.0	17.0
4	陈雨	重庆大学光电工程学院教育部光电技术及系统重点实验室	16	112	6.0	10.0
5	孙雪梅	重庆大学光电工程学院教育部光电技术及系统重点实验室	4	68	2.0	4.0