射频负偏压等离子体鞘层流体动力学模拟

• 作者: 吕少波 巴德纯 李麟涉 蔺增
• 来源期刊: 东北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 射频等离子体 直流负偏压 无碰撞 鞘层 流体动力学模型
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 881-884
• 页数: 4页
• 分类号: TB79
• 字数: 2285字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3026.2008.06.031

摘要

采用流体动力学方法建立了一种自洽的无碰撞射频直流偏压等离子体鞘层动力学模型.模型中考虑了极板直流负偏压对离子运动的影响,模拟了在不同偏压条件下射频等离子体鞘层内各参量的时空演化特性.在该模型中,认为鞘层厚度是与时间有关的函数,并采用等效电路模型建立了鞘层瞬时厚度与鞘层电位降的关系.模拟结果表明,极板上电势呈非正弦周期性变化;鞘层厚度变化与极板电势变化周期相同,趋势相反,且略滞后于射频周期.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院	250	1491	18.0	22.0
2	吕少波	东北大学机械工程与自动化学院	6	20	3.0	4.0
3	蔺增	东北大学机械工程与自动化学院	40	160	7.0	9.0