SAW化学战剂传感器的研究进展

• 作者: 刘明 牛洁斌 赵以贵
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 化学
• 关键词: 声表面波 化学传感器 敏感膜
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: O652
• 字数: 3154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.09.001

摘要

简要叙述了声表面波(SAW)化学战剂传感器的传感原理和研究进展.详细阐述了高Q低插损SAW振荡电路的设计、敏感膜材料和成膜技术的研究进展,指出了SAW化学战剂传感器发展的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘明	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	207	1983	20.0	38.0
2	牛洁斌	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	12	43	4.0	6.0
3	赵以贵	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	2	27	2.0	2.0