γ-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究

• 作者: 李新建 李隆玉 王海燕 董永芬
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: γ-Fe2O3 硅纳米孔柱阵列 湿度传感器
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 1093-1096
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.07.002

摘要

利用匀胶旋涂技术,将微乳-水热法制备出的、粒径均匀可控的γ-Fe2O3纳米颗粒沉积在具有独特微纳双重结构的硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)基片上,制成γ-Fe2O3/Si-NPA湿度传感元件,并对其进行湿度感应测试结果发现,当环境相对湿度(RH)从11%升高到95%时,该元件的电容和电阻分别呈高灵敏度的单值增加和单值降低.在100 Hz的电流频率下,元件的高湿电容值升为低湿电容值的12 500%,低湿电阻值是高湿电阻值的51 515%.分析表明,微乳-水热法对γ-Fe2O3纳米颗粒尺寸的控制以及Si-NPA衬底的独特结构是提高元件灵敏度的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海燕	郑州轻工业学院技术物理系	28	48	4.0	4.0
2	李新建	郑州大学物理工程学院教育部重点实验室	52	218	8.0	13.0
3	李隆玉	郑州大学物理工程学院教育部重点实验室	1	4	1.0	1.0
4	董永芬	郑州大学物理工程学院教育部重点实验室	1	4	1.0	1.0