一种新型的基于滑膜阻尼的电容式双向MEMS惯性传感器

• 作者: 孙玲玲 董林玺 钱忺 颜海霞
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式传感器 惯性传感器 高分辨率 MEMS
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 219-223
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 字数: 1158字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.02.006

摘要

设计了一个新型的结构完全对称的双向MEMS电容式惯性传感器.该传感器主要由可动质量块、栅形条、支撑梁、连接梁、阻尼调整梳齿组成.设计的结构采用变电容面积的检测方式,在降低空气阻尼的同时也降低了对DRIE工艺的要求,并通过加大测试信号电压来降低电路噪声,从而提高传感器的分辨率.用有限元工具ANSYS详细讨论了传感器的参数和性能,并模拟验证了设计的双向传感器的交叉效应近似为零.制作了滑膜阻尼测试器件,在大气压下,测得的品质因子可达514,验证了该结构设计可以提高传感器的分辨率和该工艺设计的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜海霞		6	40	3.0	6.0