基于共振隧穿二极管的应力检测方法

• 作者: 张文栋 毛海央 熊继军 薛晨阳
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 共振隧穿二极管 应力检测 振荡频率 I-V特性 压阻灵敏度
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 324-328
• 页数: 5页
• 分类号: TN307
• 字数: 2606字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.02.025

摘要

共振隧穿二极管(RTD)具有微分负阻效应,且其共振隧穿的I-V特性随着廊力的变化而变化,这就是RTD的压阻效应.与半导体材料压阻效应的应用类似,RTD也可用于应力检测.文中研究了两种基于RTD的应力检测方法.在讨论频率-应力检测法的基础上提出了一种新颖的应力检测方法--惠斯通RTD电桥检测法.测试结果表明,基于惠斯通RTD电桥检测法得到的压阻灵敏度随偏置电压可调,町调范围达到三个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术国防重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术国防重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	熊继军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术国防重点实验室	111	702	13.0	19.0
4	毛海央	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术国防重点实验室	6	78	4.0	6.0