平面S型与平面W型MEMS弹簧性能比较研究

• 作者: 何光 石庚辰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 平面弹簧 刚度系数 有限元方法
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 288-291
• 页数: 4页
• 分类号: TH702
• 字数: 2389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.026

摘要

S型与w型是平面MEMS弹簧中两种典型的结构形式,各自结构特点导致了它们具有不同的力学性能.通过理论分析、仿真计算和实验验证方法对平面镍质S型与平面W型MEMS弹簧性能进行了比较研究,得出了在同样的外廓尺寸及相同的线宽、厚度和梁间距情况下,平面S型微弹簧的刚度大于平面W型微弹簧的刚度的结论,为MEMS弹簧的进一步优化设计提供理论参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰	北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室	54	627	15.0	23.0
2	何光	北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室	9	106	5.0	9.0