一种电容式微机械加速度计的设计

• 作者: 曹学成 王跃林 罗斯建 郑旭东 郑阳明 金仲和
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式加速度计 微机电系统 深反应离子刻蚀 滑膜阻尼
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 226-229
• 页数: 4页
• 分类号: TH824
• 字数: 2162字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.009

摘要

介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计.该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度.对加速度计进行了结构设计和分析.给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深反应离子刻蚀过程中的过刻蚀现象的方法.初步测试结果表明,该加速度计的灵敏度比较理想,谐振频率与理论计算相吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息科学与电子工程学系	144	1047	18.0	25.0
2	曹学成	浙江大学信息科学与电子工程学系	3	45	3.0	3.0
3	王跃林	浙江大学信息科学与电子工程学系	39	434	11.0	19.0
4	郑阳明	浙江大学信息科学与电子工程学系	22	184	8.0	12.0
5	郑旭东	浙江大学信息科学与电子工程学系	7	48	3.0	6.0
6	罗斯建	浙江大学信息科学与电子工程学系	2	24	2.0	2.0