全固态微陀螺的研究进展

• 作者: 吴校生 崔峰 陈文元
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 全固态 微陀螺 MEMS 压电
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 纳米,固态及真空电子器件
• 页码范围: 1505-1509
• 页数: 5页
• 分类号: TH816
• 字数: 3862字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2008.05.026

摘要

全固态微陀螺无整体活动部件,具有测量范围大,抗冲击、抗震动能力强,对真空封装无较高的要求等方面的优点,是微型MEMS陀螺的一个重要发展方向,也是当前世界上相关领域的研究热点之一.本文针对全固态微型陀螺的概念、种类、特点、发展现状及趋势等方面进行了综合论述,最后着重阐述了一种具有崭新工作机理的压电型全固态微陀螺.本文为从事相关领域的技术研究提供背景知识参考.