CIF格式转换为PG3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究

• 作者: 刘明 李金儒 赵珉 陈宝钦
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 光电器件,显示技术
• 页码范围: 385-388
• 页数: 4页
• 分类号: TP301
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2008.02.001

摘要

为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式转换软件,文章提出了微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的新的图形切割算法--沿边切割法,重点讨论任意多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行比较,说明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性,最后给出所编软件运行的实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘明	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室	207	1983	20.0	38.0
2	陈宝钦	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室	50	361	11.0	16.0
3	李金儒	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室	4	2	1.0	1.0
4	赵珉	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室	3	11	2.0	3.0