红外薄膜中热应力的研究

• 作者: 刘旭 王颖 章岳光 陈为兰 顾培夫
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 多层介质薄膜 红外 热应力 分层破裂
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 4316-4321
• 页数: 6页
• 字数: 3323字
• 语种: 中文

摘要

由于红外薄膜材料和基板热膨胀系数显著不同,所以在高温基板上镀膜后降温将产生热应力,进而引起边界分层破裂现象.影响薄膜器件的牢固性.对薄膜厚度、杨氏模量和热膨胀系数对薄膜分层破裂的影响进行了研究,同时分析了薄膜设计对减小分层破裂的作用.这对减小红外薄膜系统因热应力引起的分层破裂现象具有实际应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈为兰	浙汀大学现代光学仪器国家重点实验室	1	9	1.0	1.0
2	顾培夫	浙汀大学现代光学仪器国家重点实验室	1	9	1.0	1.0
3	王颖	浙汀大学现代光学仪器国家重点实验室	1	9	1.0	1.0
4	章岳光	浙汀大学现代光学仪器国家重点实验室	1	9	1.0	1.0
5	刘旭	浙汀大学现代光学仪器国家重点实验室	1	9	1.0	1.0