基于CCD激光衍射暗纹间距的精确测量算法研究

• 作者: 张文富 方强 李小妍 赵娜
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 激光衍射 暗条纹 自适应滤波 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 测控技术
• 页码范围: 136-137,140
• 页数: 3页
• 分类号: TP29
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2008.03.047

摘要

激光衍射测量技术对于测量微小尺寸的工件有很大优势,但是由于较高级次暗纹的光强较微弱,被中央明条纹光强所掩盖,以及散斑和CCD热噪声的影响,暗条纹中心距很难精确测量.将CCD视频信号先进行自适应滤波,消除噪声影响,再利用差分法和取平均值的方法找到暗点的粗略位置,进而用最小二乘法进行局部拟合,确定精确暗点位置.实验表明用改进方法处理暗条纹精度较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方强		47	354	10.0	16.0
2	张文富		7	67	3.0	7.0
3	赵娜		5	36	3.0	5.0
4	李小妍		5	36	3.0	5.0