影响真空蒸发镀膜膜厚的因素分析

• 作者: 高雁
• 来源期刊: 科技创新与生产力
• 关键词: 真空蒸发镀膜 薄膜厚度 镀料质量
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 78-79,82
• 页数: 3页
• 分类号: O435
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-9146.2008.09.036

摘要

介绍了真空蒸发镀膜的基本原理,对蒸发镀膜过程中影响镀膜厚度的因素进行了理论计算和实验分析,从而找出对镀膜厚度的影响规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高雁	忻州师范学院物理系	25	44	4.0	5.0