沉积参量对硼碳氮薄膜光透过性质的影响

• 作者: 冯克成 宋哲 王玉新 郑亚茹
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 硼碳氮薄膜 射频磁控溅射 沉积参量 透过性质
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 935-937,941
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3007字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2008.06.017

摘要

采用射频磁控溅射技术,用六角氮化硼和石墨为溅射靶,以氩气(Ar)和氮气(N2)为工作气体,在玻璃衬底上制备出硼碳氮(BCN)薄膜.通过改变氮气分压比、衬底温度及沉积时间,研究了沉积参量对薄膜光透过性质的影响.利用X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)及可见-近红外透过光谱对薄膜进行了表征.实验结果表明,所制备薄膜在400～1000nm波段具有较高透过率.并且沉积参量对BCN薄膜的透过性能有很大影响,适当改变沉积参量能获得透过率高于90%的BCN薄膜.在固定其它条件只改变一个沉积参量的情况下,得到制备具有较高透过率的BCN薄膜的最佳沉积条件:氮气分压比为1/3、沉积温度为300℃、沉积时间为1h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑亚茹	辽宁师范大学物理与电子技术学院	30	308	7.0	17.0
2	王玉新	辽宁师范大学物理与电子技术学院	53	127	5.0	9.0
3	冯克成	长春理工大学理学院	38	205	8.0	12.0
4	宋哲	辽宁师范大学物理与电子技术学院	17	64	4.0	7.0