基于介观压阻效应的GaAs/AlAs/In0.1Ga0.9As贴膜微机械陀螺的设计

• 作者: 吴瑞 毛海央 温廷敦 熊继军 罗文华
• 来源期刊: 弹箭与制导学报
• 关键词: 微机械陀螺 介观压阻效应 共振隧穿薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 导弹与制导技术
• 页码范围: 61-63
• 页数: 3页
• 分类号: V241.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9728.2008.05.018

摘要

首先说明了微机械陀螺的四种传统检测方法的局限性,然后设计了一种新型的基于介观压阻效应的GaAs/ AlAs/In0.1Ga0.9As贴膜微机械陀螺,指出了该陀螺设计时应注意的几个方面,并且利用介观压阻理论分析得出用共振隧穿薄膜作为敏感元件能将微机械陀螺的灵敏度提高一个数量级,证明了介观压阻效应的微陀螺比传统压阻检测方式的微陀螺具有更高的灵敏度和精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊继军	中北大学仪器科学与测试技术教育部重点实验室	111	702	13.0	19.0
2	毛海央	中北大学仪器科学与测试技术教育部重点实验室	6	78	4.0	6.0
3	温廷敦	中北大学仪器科学与测试技术教育部重点实验室	65	169	7.0	10.0
4	吴瑞	中北大学仪器科学与测试技术教育部重点实验室	7	39	3.0	6.0
5	罗文华	中北大学仪器科学与测试技术教育部重点实验室	3	0	0.0	0.0