用于大范围纳米级压电微动台的驱动控制系统

• 作者: 幸祺 温丽梅 胡长德
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米级 大范围 尺蠖运动 压电陶瓷 控制系统
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 37-40,66
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 字数: 1898字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2008.08.011

摘要

介绍了一种基于尺蠖运动原理大范围纳米级步距压电微动工作台.根据其运动原理特点,设计完成了该压电微动台的控制系统.在电压控制下,利用压电陶瓷的逆压电效应,通过机械装置将压电陶瓷的微小位移输出,达到精密定位的目的.最后对该控制系统进行了性能测试.实验表明,该控制系统所产生的三角波、方波信号纹波电压小,信号稳定,其中放大电路部分放大倍数为57,能够驱动所选用的压电陶瓷,满足微动台驱动要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡长德		18	101	5.0	9.0
2	温丽梅	中国民航大学航空自动化学院航空电器系	8	18	2.0	4.0