可见光波段双层浮雕型导模共振滤波器设计与分析

• 作者: 刘世杰 晋云霞 范正修 赵元安 邵建达 魏朝阳 麻健勇
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 导模共振 平面波导 窄带滤波
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 4195-4201
• 页数: 7页
• 字数: 5141字
• 语种: 中文

摘要

基于傅里叶模式理论分析了双层浮雕型导模共振光栅的共振效应,分别讨论了光栅的槽深、剩余厚度、周期以及填充系数对峰值反射率、带宽、旁带反射率的影响.数据计算表明,欠刻蚀情形的误差宽容度远远优于过刻蚀情形,两者在光栅槽深相对误差小于15%的范围内,都能保证共振峰的衍射效率高于99.5%,在相同的误差范围内,共振峰线宽的相对误差将分别达到7%和60%,因此厚度误差集中反映在对共振线宽的改变上.另外,光栅周期和填充系数的变化将明显改变共振峰中心波长和线宽.