CaO-B2O3-SiO2系可析晶玻璃材料研究进展

• 作者: 周晓华 唐斌 张树人 王晓东 郭华伟
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: CaO-B2O3-SiO2微晶玻璃 硅灰石 LTCC 热分析
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.71
• 字数: 5960字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2008.09.012

摘要

半导体技术的持续进步使片间信号传递效率成为影响整机性能的瓶颈.多芯片组件等高密度封装作为解决方案,要求封装材料具有高频低损耗、低介电常数和良好的机械性能.CaO-B2O3-SiO2系可析晶玻璃材料能够满足这些要求,并引起了人们极大的关注与研究.综述了近年来针对CaO-B2O3-SiO2系可析晶玻璃材料的技术难点、制备工艺、掺杂剂和热分析方法等多方面研究进展.提出了该体系材料需要进一步解决的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树人	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	187	1176	16.0	24.0
2	唐斌	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	210	2076	24.0	33.0
3	周晓华	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	70	468	11.0	17.0
4	王晓东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	25	3.0	4.0
5	郭华伟	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	16	2.0	3.0