多级低压电渗流微泵的设计、加工及测试

• 作者: 李祥 陈云飞 陈敏华
• 来源期刊: 中国制造业信息化
• 学科: 物理学
• 关键词: 电渗流 微泵 微加工工艺 微流体实验
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 应用研究
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: O351.2
• 字数: 2672字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1616.2008.01.016

摘要

设计了一种多级低压电渗流微泵.该微泵系统主要由直流电源和蚀刻微通道的芯片等部分组成.芯片是在一块硅基片上蚀刻6组尺寸不同的微通道,从而达到提供不同大小的流量和承受不同背压的目的.对芯片的加工工艺流程进行了说明,同时对微泵进行了试验研究.实验结果表明:在低压下,该泵能够驱动通道中的液体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈云飞	东南大学机械工程学院	64	250	9.0	12.0
2	陈敏华	东南大学机械工程学院	18	98	6.0	9.0
3	李祥	东南大学机械工程学院	3	4	1.0	2.0