标准单元可制造性分级

• 作者: 张子文 陈岚 龚敏
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 可制造性 标准单元 权重 光刻模拟
• 年，卷（期）: 2008,（24）
• 所属期刊栏目: 版图设计
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TN40
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2008.24.011

摘要

随着制造工艺尺寸的缩小,可制造性不只是工厂需要关注的问题,更是设计者需要考虑的重点,从而提高良率和版图面积的利用率.为了使设计者更好地理解和控制可制造性,对标准单元的可制造性分级显得尤为重要.用加权重的方法对标准单元进行可制造性分级,该方法不但包含可制造性规则对版图的约束,还创新性地把工艺参数变化对其造成的影响考虑了进去.用一套简化的可制造性规则和版图来演示此种分级方法的实现,并用模拟结果验证了它的有效性.该分级方法具有统一性和标准性,可以被广泛采用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈岚	中国科学院微电子研究所共性技术研究室	86	361	10.0	14.0
2	龚敏		21	25	2.0	3.0
3	张子文		1	0	0.0	0.0