射频感应耦合Ar-N2等离子体物理特性的Langmuir探针测量及理论研究

• 作者: Ding Zhen-Feng Gao Fei 毛明 王友年
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 感应耦合等离子体 Ar-N2混合气体放电 电子能量分布 Langmuir探针
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 5123-5129
• 页数: 7页
• 分类号: O353
• 字数: 4533字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.08.073

摘要

分别通过Langmuir探针测量和动力学模型模拟方法研究了射频感应耦合Ar-N2等离子体中电子能量分布、电子温度、电子密度等物理量随N2含量的变化规律.实验研究结果表明:电子能量分布呈现出非Maxwell型分布,并由双温分布向三温分布过渡;电子温度在不同的气压下随N2含量的增加呈现出不同的变化规律.在放电气压小于1.3 Pa时,电子温度随N2含量的增加而下降;当气压大于1.3 Pa时,电子温度随N2含量的增加先迅速上升而后缓慢下降.在不同的放电气压下,电子密度随N2含量的增加迅速下降.数值模拟结果与Langmuir探针测量结果趋势一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王友年	大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性国家重点实验室	26	88	6.0	8.0
2	Gao Fei	大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性国家重点实验室	1	9	1.0	1.0
3	毛明	大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性国家重点实验室	1	9	1.0	1.0
4	Ding Zhen-Feng	大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性国家重点实验室	1	9	1.0	1.0