热丝辅助双偏压氢等离子体制造金刚石锥状表面研究

• 作者: 丁芳 孟亮 张杰 朱晓东 温晓辉
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体 表面 金刚石薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 2334-2339
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3320字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.04.054

摘要

利用热丝辅助双偏压氢等离子体对化学气相沉积金刚石薄膜进行了纳米尺度上的表面改装,制造出锥状金刚石列阵.金刚石薄膜内在的柱状结构使氢离子在刻蚀薄膜时产生非均匀的刻蚀速率,对锥状表面的形成起着重要作用.另一方面,溅射出的含碳粒子会发生二次沉积,最终的特征表面形貌取决于刻蚀与含碳基团再沉积之间的相互竞争.栅极的使用影响基底区域放电的伏安特性,改变栅极电流可以对形成的金刚石特征表面结构进行有效调节.在处理过程中少量掺入甲烷,提高了金刚石表面附近的含碳基团浓度,促进二次成核.进而诱发均匀分布的锥状列阵.