氧气氛中p-GaN/Ni/Au电极在相同温度不同合金时间下的欧姆接触形成机制和扩散行为

• 作者: 丁志博 姚淑德 王坤 陈田祥 陈迪
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: GaN 卢瑟福背散射 沟道 欧姆接触
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 2445-2449
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.04.073

摘要

用卢瑟福背散射,沟道技术研究了p-GaN上的Ni/Au电极在氧气氛下相同合金温度(500℃)不同合金时间后的微结构演化,以揭示欧姆接触的形成机制.利用背散射随机谱和RUMP模拟程序研究了电极金属之间的互扩散,用沟道谱探测了电极金属中的氧分布.结合不同合金时间下比接触电阻ρc的变化,发现随着合金时间的延长比接触电阻持续降低,在合金时间60s后降低的速度减慢,Au扩散到GaN的表面,在p-GaN上形成外延结构,O向电极内部扩散反应生成NiO对降低ρc起到了关键的作用,表明合金后Ni/Au双层电极中层反转效应已经发生,这种结构变化是形成欧姆接触的有效机制.在相同合金温度(500℃)不同合金时间中,氧气氛中的p-GaN/Ni/Au电极在合金时间为300 s时形成的欧姆接触效果最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁志博	北京大学物理学院	7	63	4.0	7.0
2	姚淑德	北京大学物理学院	22	100	5.0	9.0
3	王坤	北京大学物理学院	23	206	7.0	14.0
4	陈迪	北京大学物理学院	5	16	3.0	3.0
5	陈田祥	北京大学物理学院	3	35	3.0	3.0