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甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究
甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究
作者:
Zhang Xiao-Dan
Zhao Jing
岳强
葛洪
赵颖
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
二维准平面电路模型
甚高频等离子体增强化学气相沉积
电势驻波效应
摘要:
采用二维准平面电路模型研究了甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)大面积平行板电极间真空电势差分布.计算结果表明:随平行板电极尺寸增加和激发频率提高,电势驻波效应成为影响电极间电势差非均匀分布的重要因素.在尺寸为1.2 m×0.8 m的大面积平行板电极上应用40.68和60 MHz两种激发频率,通过功率馈入点数量和位置优化,计算获得非均匀性分别为±2.35%和±5.5%的真空电势差分布.这些数值计算结果为大面积平行板电极在VHF-PECVD中应用提供了重要的理论指导.
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文献信息
篇名
甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究
来源期刊
物理学报
学科
物理学
关键词
二维准平面电路模型
甚高频等离子体增强化学气相沉积
电势驻波效应
年,卷(期)
2008,(8)
所属期刊栏目
流体、等离子体和放电
研究方向
页码范围
5105-5110
页数
6页
分类号
O353
字数
2960字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1000-3290.2008.08.070
五维指标
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
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研究主题发展历程
节点文献
二维准平面电路模型
甚高频等离子体增强化学气相沉积
电势驻波效应
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
主办单位:
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-3290
CN:
11-1958/O4
开本:
大16开
出版地:
北京603信箱
邮发代号:
2-425
创刊时间:
1933
语种:
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:
National Basic Research Program of China
官方网址:
http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:
农业
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:
The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:
http://www.863.org.cn
项目类型:
重点项目
学科类型:
信息技术
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