SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征

• 作者: 徐瑞松 苗莉 马跃良
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: SnO2:F导电薄膜 喷雾热分解法 性能
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 121-123
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2302字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2008.01.031

摘要

采用喷雾热分解(Spray pyrolysis)方法,以NH4F、SnCl2·2H2O为原料,对反应液配方进行了优化,在普通玻璃衬底上制备出了光电性能优良的掺F二氧化锡透明导电薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV/VIS)对薄膜的结构、形貌、光学、电学特征进行了表征和分析.结果表明:在衬底温度为500℃, NH4F/SnCl2·2H2O的质量百分比为20%,喷涂时间为15s时掺F二氧化锡薄膜的方块电阻最低达到6.2Ω/□,可见光透射率为86.95%,且薄膜晶粒均匀,表面形貌平整致密.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐瑞松	中国科学院广州地球化学研究所	21	279	9.0	16.0
3	马跃良	中国科学院广州地球化学研究所	21	192	8.0	13.0
4	苗莉	中国科学院广州地球化学研究所	10	114	6.0	10.0