13.56 MHz低频功率对60 MHz射频容性耦合等离子体的电特性的影响

• 作者: 孙恺 宁兆元 袁强华 辛煜 黄晓江
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 双频激发容性耦合等离子体 朗缪尔探针诊断 电子加热模式
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 7038-7043
• 页数: 6页
• 分类号: O53
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.11.053

摘要

使用补偿朗缪尔探针诊断技术,研究了60MHz/13.56MHz双频激发容性耦合等离子体的空间电子行为,得到了电子能量概率函数(EEPF)随径向位置和低频输入功率的演变行为.实验结果表明,13.56MHz射频输入功率的变化主要影响低能电子的布居,其影响随气压升高而加大.在等离子体放电中心以外,EEPF呈现出双峰分布的特性,同时发现从放电中心到极板边缘,次能峰有逐渐向高能区漂移的现象,次能峰的出现显示了中能电子的增强的加热效应.通过EEPF方法,计算了等离子体的电子温度、电子密度.讨论了等离子体中的电子加热机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄晓江	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	5	18	3.0	4.0
2	宁兆元	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	70	528	12.0	18.0
3	辛煜	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	38	176	8.0	10.0
4	孙恺	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	4	15	3.0	3.0
5	袁强华	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	2	12	2.0	2.0