一种高纯气体微量水微量氧自动检测装置

• 作者: 乔立永 石成英 陈宏建
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 高纯气体 微量水 微量氧 自动检测
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 测控技术
• 页码范围: 133-134,142
• 页数: 3页
• 分类号: TP202
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2008.11.045

摘要

介绍了一种具有实时在线测量功能的高纯气体微量水微量氧自动检测装置,详细阐述了该装置的结构组成和性能特点,包括装置的硬件系统、软件系统、主要技术指标及研制过程中解决的关键技术和创新点.实践表明,此微量水微量氧自动检测装置成本较低、性能稳定可靠、精度较高,实现了小型化、自动化和智能化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石成英		31	173	7.0	12.0
2	陈宏建		1	0	0.0	0.0
3	乔立永		1	0	0.0	0.0