高温超导薄膜微细图形制备工艺的研究进展

• 作者: 刘晓梅 张黄莉 彭海军 赵高扬
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 高温超导薄膜 微细图形 溶胶-凝胶法 化学修饰
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 新材料新技术
• 页码范围: 96-99
• 页数: 4页
• 分类号: TB3
• 字数: 2536字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2008.05.024

摘要

高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用.概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展,重点介绍了高温超导薄膜微细图形制备方法中的光刻法、改性工艺、耐熔微掩膜制备法和Sol-gel法与化学修饰法相结合的基本原理、工艺特点及最新研究进展.首次把Sol-gel法与化学修饰法相结合制备薄膜的微细图形的工艺用于高温超导薄膜微细图形的制备中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
2	张黄莉	西安理工大学材料科学与工程学院	5	16	3.0	4.0
3	彭海军	西安理工大学材料科学与工程学院	4	12	2.0	3.0
4	刘晓梅	西安理工大学材料科学与工程学院	2	10	2.0	2.0