离轴照明下依赖于入射角度的矢量霍普金斯公式

• 作者: 张晓萍 曹鹏飞 程琳
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学光刻 矢量霍普金斯公式 矢量电磁场理论 离轴照明
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 6946-6954
• 页数: 9页
• 分类号: O37
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.11.039

摘要

应用矢量电磁场理论和波导模型推导出离轴照明下的矢量霍普金斯公式,与传统的标量霍普金斯公式不同之处在于引入了入射角及入射方位角.通过仿真实际投影光刻工艺下三维掩模的成像效果,分析了最佳入射角范围,讨论了离轴照明时入射角对最终成像质量的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓萍	兰州大学信息科学与工程学院	36	189	7.0	11.0
2	曹鹏飞	兰州大学信息科学与工程学院	4	11	2.0	3.0
3	程琳	兰州大学信息科学与工程学院	3	5	1.0	2.0