VC++实现电子束曝光专用数据格式文件

• 作者: 刘伟 张今朝 韩立 魏淑华
• 来源期刊: 计算机应用与软件
• 学科: 工学
• 关键词: 图形文件格式 VC++ 图形绘制 电子束曝光
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 应用技术与研究
• 页码范围: 155-157
• 页数: 3页
• 分类号: TP3
• 字数: 3118字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-386X.2008.05.061

摘要

电子束曝光数据格式是针对电子束曝光系统设计的、可被曝光机直接识别的一种专用电子束曝光图形数据格式.利用VC+ +开发环境实现了该格式文件的创建,主要包括曝光版图的图形绘制、属性设置、结构体引用以及文件保存.实验结果表明,利用此软件可创建满足各种需求的曝光版图文件,从而便于进行电子束曝光的相关实验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟	山东理工大学电气与电子工程学院	80	231	7.0	9.0
2	魏淑华	中国科学院电工研究所	4	9	2.0	3.0
3	张今朝	中国科学院电工研究所	8	16	2.0	3.0
4	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0