微型ICP激发源微电路组件的参数设计

• 作者: 孙荣霞 王永青 蒲永妮 马雯
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 微型ICP激发源 平面螺旋电感 交指电容 参数设计
• 年，卷（期）: 2008,（26）
• 所属期刊栏目: 电子设计
• 页码范围: 287-289
• 页数: 3页
• 分类号: TG115.3+31
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2008.26.118

摘要

本文简要介绍了一种采用微结构平面螺旋线圈的新的ICP(电感耦合等离子体)光谱激发源.作者设计加工出的基于PCB(印刷电路板)镀金工艺的微型ICP激发源在13.56MHz下成功启燃,并给出了ICP火炬照片.详细介绍了作者研制的微型ICP激发源的平面螺旋电感和交指电容的参数设计方法,给出了设计版图和实物照片,微结构线条宽度和间隙在数百微米量级.展望了平面螺旋电感和交指电容在微型ICP激发源的中的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙荣霞	河北大学电子信息工程学院	42	210	7.0	13.0
2	蒲永妮	河北大学电子信息工程学院	2	20	2.0	2.0
3	马雯		4	26	3.0	4.0