60 MHz电容耦合等离子体中电子能量分布函数特性研究

• 作者: 孙恺 宁兆元 袁强华 辛煜 黄晓江
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 甚高频容性耦合等离子体 朗缪尔探针诊断 电子加热模式
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 6465-6470
• 页数: 6页
• 分类号: O53
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.10.063

摘要

甚高频(频率大于30 MHz)耦合放电源由于能产生大面积高密度的等离子体而受到了人们的广泛关注.采用电流、电压探针以及朗缪尔探针诊断技术对60 MHz射频激发产生的容性耦合等离子体的放电特性及电子行为进行了研究.实验结果表明,等离子体的等效电阻,电容随着射频输入功率的增加而减小/增加;等离子体中电子行为不仅依赖于射频输入功率,还与放电气压密切相关;放电气压的增加导致电子能量概率分布函数(EEPF)从双温Maxwellian分布向Druyvesteyn分布转变,而且转变气压远低于文献所报道的数值,这主要是由于在60MHz容性耦合等离子体中电子反弹共振加热效率大为降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄晓江	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	5	18	3.0	4.0
2	宁兆元	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	70	528	12.0	18.0
3	辛煜	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	38	176	8.0	10.0
4	孙恺	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	4	15	3.0	3.0
5	袁强华	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	2	12	2.0	2.0