大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测

• 作者: 史沛熊 吴衍青 周洪军 徐洪杰 朱伟忠 朱效立 谢常青 邰仁忠 郭智 霍同林 马杰
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 软X射线金属型透射光栅 严格耦合波方法 衍射效率 软X射线干涉光刻
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 6386-6392
• 页数: 7页
• 分类号: O37
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.10.051

摘要

基于严格的矢量耦合波理论,优化设计了用于13.4 nm软X射线干涉光刻的透射型双光栅掩模版.采用电子柬光刻技术,在国内首次成功制作了周期为100 nm的大面积金属型透射光栅.光栅面积为1.5 mm×1.5 mm,Cr浮雕厚度为50 nm,Gap/period为0.6,衬底Si,N4厚度为100 nm.此光栅将用于上海光源软X射线干涉光刻实验站.利用其1级衍射光和2级衍射光将可以经济高效地制作周期为50和25 nm的大面积周期结构.最后,测量了该光栅对波长为13.4 nm同步辐射光的衍射光强度,并且推算得出该光栅的1级和2级衍射效率分别为4.41%和0.49%,与理论设计值比较符合.实验结果与理论模拟结果的对比表明该光栅侧壁陡直,Gap/period的控制也与设计值符合.