数值模拟探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻

• 作者: 唐晓东 徐文东 李小刚 洪小刚 赵成强
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米光刻 表面等离子体共振 时域有限差分方法
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 6643-6648
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.10.093

摘要

采用有损耗介质和色散介质的二维时域有限差分方法,数值模拟了以光波长514.5 nm的p偏振基模高斯光束为入射光源,激发Kretschmann型表面等离子体共振,并通过探针的局域场增强效应实现纳米光刻的新方法--探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻.分别就探针与记录层的间距以及探针针尖大小,模拟分析了不同情况下探针的局域场增强效应和记录层表面的相对电场强度振幅分布.结果表明,探针工作在接触模式时,探针的局域场增强效应最明显,记录层表面的相对电场强度振幅的对比度最大;当探针针尖距记录层5 nm时,针尖下方记录层表面的相对电场强度振幅大于光刻临界值的分布宽度与针尖尺寸相近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小刚	中国科学院上海光学精密机械研究所	37	238	9.0	14.0
2	徐文东	中国科学院上海光学精密机械研究所	38	490	11.0	22.0
3	洪小刚	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	21	2.0	2.0
4	赵成强	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	23	2.0	4.0
5	唐晓东	华东师范大学信息科学技术学院	4	24	2.0	4.0