CoFeB/MgO不连续多层纳米软磁薄膜微波电磁特性

• 作者: 何华辉 冯则坤 别少伟 杜刚 江建军 马强
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 纳米磁性颗粒膜 磁导率频谱 电磁性能 吸波材料
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 6577-6581
• 页数: 5页
• 分类号: O6|O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.10.081

摘要

采用直流/射频磁控溅射方法和不连续多层交替沉积工艺,制备了CoFeB/MgO系列纳米不连续多层薄膜,研究了微波频段下的电磁性能.结果表明,通过调整CoFeB合金相和MgO介质相的相对含量可有效调控薄膜的微结构和电磁性能,且在[Co64Fe24B12 0.7 nm)/MgO(0.4 nm)]40薄膜中获得了优良的微波软磁性能和高电阻率,其饱和磁化强度1.3 T,难轴矫顽力130 A/m,电阻率3.4 mΩ·cm,且共振频率高达2.1 GHz,磁导率实部μ'和虚部μ"在1.59 GHz处均高于240,并且在0.9-2 GHz宽频带范围同时大于100.该薄膜可用于微波吸收材料和电磁兼容的设计中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江建军	华中科技大学电子科学与技术系	105	993	18.0	25.0
2	别少伟	华中科技大学电子科学与技术系	16	115	7.0	9.0
3	何华辉	华中科技大学电子科学与技术系	110	1350	20.0	29.0
4	冯则坤	华中科技大学电子科学与技术系	109	961	18.0	25.0
5	马强	华中科技大学电子科学与技术系	28	414	9.0	20.0
6	杜刚	华中科技大学电子科学与技术系	10	56	5.0	7.0