八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究

• 作者: 毛海央 熊继军 王敏 范波 郭涛
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 加速度传感器 灵敏度 横向效应 压阻式
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器与仪器仪表
• 页码范围: 138-140
• 页数: 3页
• 分类号: TP302
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2008.01.058

摘要

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式,这种结构的传感器有很高的灵敏度,但它会产生很高的横向效应.文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器,通过用ANSYS有限元分析软件仿真计算,说明该结构的加速度传感器具有很小的横向效应.