基于透射光谱确定溶胶凝胶ZrO2薄膜的光学常数

• 作者: 梁丽萍 秦梅 郑建军 郝建英
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 光学常数 Swanepoel方法 ZrO2薄膜 热处理
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 7906-7911
• 页数: 6页
• 分类号: O6
• 字数: 4121字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.12.080

摘要

基于溶胶凝胶ZrO2薄膜的紫外/可见/近红外透射实验光谱,采用Swanepoel方法结合Wemple-DiDomenico色散模型,方便地导出了ZrO2薄膜在200-1200 nm波长范围内的光学常数,包括折射率、色散常数、膜层厚度、吸收系数及能量带隙.研究发现,溶胶凝胶ZrO2薄膜具有高折射率(1.63-1.93,测试波长为632.8 nm)、低吸收和直接能量带隙(4.97-5.63 eV) 等光学特性,而且其光学常数对薄膜制备过程中的重要工艺参数--膜层后处理温度表现出强烈的依赖性.此外,在膜层的弱吸收和中等吸收光谱区域内,计算得到的折射率色散曲线与分光光度法的测试结果基本符合,说明本实验中所建立的计算方法在确定溶胶凝胶ZrO2薄膜光学常数方面的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑建军	太原科技大学材料科学与工程学院	16	53	4.0	7.0
2	秦梅	太原科技大学材料科学与工程学院	10	30	2.0	5.0
3	郝建英	太原科技大学材料科学与工程学院	19	46	4.0	6.0
4	梁丽萍	太原科技大学材料科学与工程学院	14	62	5.0	7.0