AlN/BN纳米结构多层膜微结构及力学性能

• 作者: 喻利花 董师润 许俊华
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: AlN/BN多层膜 BN结构 超硬效应
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学的性质
• 页码范围: 7776-7782
• 页数: 7页
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.12.059

摘要

用射频磁控溅射法制备了AlN,BN单层膜及AlN/BN纳米多层膜.采用X射线衍射仪、高分辨率透射电子显微镜和纳米压痕仪对薄膜结构进行表征.分析表明:单层膜AlN为w-AlN结构,BN为非晶相.AlN/BN多层膜中BN的结构与BN层厚有关.当BN层厚小于0.55 nm时,由于AlN层模板的作用,BN发生了外延生长,BN与AlN的结构相同;当BN层厚大于0.74 nm时,BN为非晶.AlN/BN多层膜的硬度也与BN层的厚度有关.当BN层厚为1-2个分子层时,AlN/BN多层膜具有超硬效应;当BN层厚增加到0.74 nm时,AlN/BN多层膜的超硬效应消失.计算了多层膜中BN结构转变的临界厚度.讨论了AlN/BN多层膜的硬化机理,晶态BN与AlN层之间的界面协调应力和模量差异是多层膜硬度提高的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董师润	江苏科技大学材料科学与工程学院江苏省先进焊接技术重点实验室	12	143	7.0	11.0
2	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院江苏省先进焊接技术重点实验室	60	269	9.0	13.0
3	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院江苏省先进焊接技术重点实验室	58	246	8.0	12.0