扩散理论对RLA模型中交换作用的研究

• 作者: 张佩峰 范多旺 郑小平
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 扩散理论 薄膜生长 交换作用 RLA
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 425-429
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 4206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.01.066

摘要

以扩散理论为基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,引入交换比的概念,对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行Kinetic Monte Carlo模拟.模拟发现,活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,跨层扩散主要是单个原子的扩散,层间扩散的原子数目随着温度的升高或沉积厚度的增加而增多.RLA模型中的"交换作用"只是若干个"基本微观过程"的组合,大多数交换不是位置的"完全交换",交换比也并非恒为1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范多旺	兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室	112	683	14.0	20.0
2	郑小平	兰州城市学院电子信息科学与技术研究所	32	111	6.0	9.0
6	张佩峰	兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室	11	111	5.0	10.0